iWB系列 平面度測量設(shè)備
iWB系列產(chǎn)品是星空科技自主研發(fā)的平面度測量設(shè)備，設(shè)備采用光譜共焦非接觸式無損測量技術(shù)，具備高精度對準(zhǔn)、高精度測量重復(fù)性的優(yōu)勢。同時輸出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等測量參數(shù)。適用于多種規(guī)格芯片和晶圓的平面度測量。
iWB系列產(chǎn)品是星空科技自主研發(fā)的平面度測量設(shè)備，設(shè)備采用光譜共焦非接觸式無損測量技術(shù)，具備高精度對準(zhǔn)、高精度測量重復(fù)性的優(yōu)勢。同時輸出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等測量參數(shù)。適用于多種規(guī)格芯片和晶圓的平面度測量。