iWB系列產品是星空科技自主研發的平面度測量設備,設備采用光譜共焦非接觸式無損測量技術,具備高精度對準、高精度測量重復性的優勢。同時輸出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等測量參數。適用于多種規格芯片和晶圓的平面度測量。